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遵义电子车间净化工程设计要求规范
洁净技术和装备的国际市场十分巨大，日本到80年代末、90年代初洁净技术和设备的销售额已突破35亿美元。美国和西欧等先进洁净设备和基础部件的销售额已达73亿美元。据中国电子专用设备工业协会统计，我国主要八家大的净化设备厂的销售额1990年为8217万元，还不足1亿，1993年达到14495万元，占国际市场销售额的0．34％。但随着我国高新技术的迅速发展和微电子工业、光纤工业、液晶显示工业及光电器件工业、生物工程、医药工业的发展，我国潜在的巨大的洁净技术产品市场，以每年40％~50％的增长速度在增加。在净化工程超净工作台上亦可吊装紫外线灯，但应装在照明灯罩之外，并错开照明灯的排列，这样在工作时不妨碍照明。若将紫外线灯装入照明灯罩（玻璃板）里面，这是毫无用处的，为紫外线不能穿透玻璃，它的灯管是石英玻璃，而不是硅酸盐玻璃的。接种室内力求简洁，凡与本室工作无直接关系的物品一律不能放入，以保持无菌状。接种室内的空气与外界空气应绝对隔绝，预留的通气孔道应尽量密闭。通气孔道可设上下气窗，气窗面积宜稍大，需覆上4层纱布作简单滤尘。在一天工作之后，可开窗充分换气，然后再予以密闭。总之，既清洁无尘无菌，又空气新鲜，适宜工作。覆在通气窗上的纱布应经常换洗。但是种种措施只是理想的设计方案，往往不易全面做到，其实只严格无菌操作手续，在门窗敞开的室内，有一超净台的保护，接种的污染率仍可控在生产上可以容忍的水准。控制洁净车间的全过程实质上就是围绕控制产尘和有效排尘两环节对微尘实施的的全面控制。洁净车间的环境包括洁净车间的结构、墙壁材料、水系统、空调洁净系统等。
日本也已成为世界上生产0．1微米ULPA过滤器厂家多的，品种繁多，产品系列化，尤其是低压损型0．1微米ULPA过滤器的开发成功解决了初阻力大的技术难题。国际市场对高效空气过滤器的需求量很大，且每年均有增长，目前日本每年销售超过100万台，按每台平均价格200美元计算，销售额达2亿美元。我国高效空气过滤器市场需求量已接近每年10万台，占国际市场的2％~4％，但至今还没有0．1微米ULPA过滤器生产，用于超大规模集成电路生产洁净厂房及各种高科技领域洁净厂房的0．1微米ULPA过滤器目前还要依赖进口。影响洁净室的气流因素很多，如制程设备、人员、洁净室组装材、照明器具等，同时对于生产设备上方气流的分流点，亦应列入考虑因素。净化车间一般操作台或生产设备等表面的气流分流点，应设于洁净室空间与隔墙板间距2/3之处，如此可使作业人员工作时，气流可从制程区内部流向作业区，而将微尘带走；若分流点配置在制程区前方，将成为不当的气流分流，此时大部份的气流将流至制程区之后，作业员操作所引起的尘埃将被带到设备后面，工作台因而将受到污染，良率也势必降低。净化车间内的工作桌等障碍物，在相接处均会有涡流现象发生，相对地在其附近之洁净度将会较差，在工作桌面钻上回风孔，将使涡流现象减少低；组装材料之选择是否恰当、设备怖局是否完善，亦为气流是否成为涡流现象之重要因素。进入无尘净化车间之前先进入缓冲区，缓冲区门安装电子互锁，更衣处放置洁净储衣柜，空气清新机；人和货物进入净化车间须经过，风淋室，货淋室，传递窗主要传递小物品；美国在台湾的TSMCS新厂已建成第四代管道式洁净室总面积达10000平方米。我国使用的0，1微米十级洁净室主要依赖从国外进口。由于高洁净级别的洁净室造价十分昂贵，0．1微米十级洁净室每平方米造价高达1万美元以上。在大规模集成电路制造装备的投资中洁净厂房占有相当高的比例，这与集成电路工艺不断更新，产品更新换代周期越来越快的发展趋势不相适应，严重制约了大规模集成电路技术的发展。美国ASYST公司、德国MW公司发展的使用隔离技术的亚微米生产微环境系统设备和技术在近几年中得到广泛采用。该项新的洁净技术在100级洁净度的洁净厂房中，采用工艺设备局部使用隔离技术的微环境，把投资比例压缩到级别高的微环境，消除了操作者与工艺设备运行的二次污染源产生对集成电路成品率和可*性的影响作用。对洁净室尘埃粒子数的控制，对洁净室内风淋室的环境控制及日常养护十分注重,空气净化系统起着非常关键的作用。针剂生产的空气洁净度要求为100级时，采用垂直和水平单向流流型，气流风速分别大于0.25米/秒和0.35米/秒;当空气洁净度要求为10000级、100000级时，采用非单向流，换气次数分别大于25次/小时和15次/小时(300000级换气次数不小于12次/小时)，以便及时带走生产过程中产生的尘埃和粉尘，保持洁净室环境的洁净度。洁净室分为生物洁净室和非生物洁净室两种。生物洁净室空气净化系统必须连续运转;非生物洁净室使用前空气净化系统应提前4小时开启。检测尘埃粒子用尘埃粒子计数器，在环境卫生清洁后缓冲0.5～1小时之后进行，为避免人为造成的污染，静态测试时洁净室内仅限两人。无尘车间是为了满足生产工艺对于环境的要求，生产过程中需要对于温湿度有所控制。利用净化车间有效降低空气中的灰尘、细菌、病毒等，并实现恒温恒压恒噪，提供良好的生产环境。
在洁净室建设规模和技术水平上，我国与先进差距更大。日本清水建设公司一家，1982年到1987年期间承建的洁净室面积达71．8万平方米，而我国目前一年承建的洁净室总面积还不到10万平方米，但八五期间有较大发展，1993年承建洁净室总面积已接近15万平方米。美国的洁净室建设规模更大，1998年统计已达188．5万平方米。在洁净工程技术水平上，80年代末期，国外已大量建成0．1微米级的超净室，1987年日本三洋新泻工场建成十级洁净厂房3000平方米，NIT原木则建成了四个1000平方米控制0．1微米尘埃的千级厂房，换气次数高达300次／分。净化工程无菌室应定期用70%酒精或0.5%苯酚喷雾降尘和消毒，用2%新洁尔灭抹拭台面和用具（70%酒精也可），用福尔马林（40%甲醛）加少量**钾定期密闭熏蒸，配合紫外线灭菌灯（每次开启15分钟以上）等等消毒灭菌手段，以使无菌室经常保持度的无菌状。接种箱内部也应装有紫外线灯，使用前开灯15分钟以上照射灭菌，但凡是照射不到之处仍是有菌的。在紫外线灯开启时间较长时，可激发空气中的氧分子缔合成臭氧分子，这种气分有很强的杀菌作用，可以对紫外线没有直接照到的角落产生灭菌效果。由于臭氧有碍健康，在进入操作之前应先掉紫外线灯，后十多分钟即可入内。净化车间的温湿度主要是根据工艺要求来确定的,在满足工艺要求的条件下,应考虑人的舒适感；温度对生产工艺的影响,主要是从产品精度和合格率来考虑的,另一方面也从污染角度考虑,因为温度升高后,会引起人出汗,汗水会对产品产生污染。
遵义电子车间净化工程设计要求规范
遵义电子车间净化工程设计要求规范
来源网络
发布时间:2019-01-28 01:31:02
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遵义电子车间净化工程设计要求规范 无尘室，也称洁净室，是指一个具有低污染水平的环境，这里所指的污染来源有灰尘，空气传播的微生物，悬浮颗粒，和化学挥发性气体。更准确地讲，一个洁净室具有一个受控的污染级别，污染级别可用每立方米的颗粒数，或者用大颗粒大小来厘定的。低级别的洁净室通常是没有经过消毒的（如没有受控的微生物），更多的是关心空气传播的灰尘。无尘室的定义：空间范围内之空气中的微尘粒子等污染物排除，而得到一个相当洁净的环境。亦即：这个环境中的微尘粒子相当少，称之为洁净室。水性环氧树脂地板特性：具有优异的防腐、耐碱、耐油性、固化性能受温度、湿度影响较小、对潮湿地面有很好的粘接力、施工数毫米厚不开裂。适用范围：一般的地面都适用，特别适用于潮湿的环境施工。如地下停车场，一楼较湿地面，潮湿的季节。施工步骤：一、素地处理：用磨机把原地面整体打磨一遍，然后清扫、除尘；，二、底涂：将调配好的环氧底涂用镘刀批刮在除尘干净的地面上；三、砂浆层：待底涂固化后，将树脂、石英砂按比例混合均匀后，用镘刀批刮在底涂上（根据厚度不同，采用的石英砂目数不同）；，四、中涂层：待砂浆层固化后，将调好的树脂用镘刀平镘在砂浆层上；五、面涂层：待中途完全固化后，再用磨机把表面打磨一遍，然后清扫、除尘，再将调好的环氧面涂料过滤后，用滚筒涂在中涂层上。如果洁净车间的换气次数太大,则会增加运行成本,也并不一定能相应的提高洁净车间的级别。洁净车间的换气次数取决于室内热平衡计算,常规要求1万级的换气次数为每小时25次以上,10万级为每小时15次以上。
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